模块化洁净室(无尘车间)说的通俗点,就是很干净的空间。因为灰尘、细菌,如果颗粒很小就会漂浮在空气中,对人体影响可能不大,但是对一些生产工艺影响就大了。比如半导体行业,当微粒尺寸达到集成电路节点一半大小时就成 为了破坏性微粒,对集成电路的制造产生影响。模块化洁净室在提高产品的良品率上,在很多行业已经被证实是非常有效的,因此它是广泛需要的一种洁净设备。这其中,万级模块化洁净室(无尘车间)是很常见的一个洁净等级。
万级模块化洁净室(无尘车间),指的是1立方英尺(ft³)内0.5微米(um)的灰尘个数为一万个。这个洁净等级与国际标准ISO14644的7级是相通的。如果按照1立方米(m³)的空间来计算的话,0.5微米(um)的灰尘个数应该为352000个。
万级模块化洁净室(无尘车间)的主要设备是风机滤网机组FFU,它包括初效过滤器、风机、高 效过滤器等组成部分。它一般装置在净化车间的顶部,室外的空气由风机抽入,经过初效过滤器过滤粗灰尘,再由高 效过滤器99.99%去除0.3微米(um)的灰尘,之后形成洁净气流自上而下排出。
因为是万级模块化洁净室的送风模式是非单向流(乱流),所以顶部FFU不需要满布,回风只需要侧面板或者回风柱就可以了。万级模块化洁净室(无尘车间)依靠单位时间内的送风量(也就是换气次数)不同来实现空气净化,只需要换气次数达到60-80次/小时就可以了。
根据需求,万级模块化洁净室(无尘车间)还可加装控温、控湿的空调。控温空调有的是为了满足作业人员的舒 适性,小型空调即可满足。有的则是生产工艺要求严格恒温恒湿,那么就需要高质量的恒温恒湿空调。
此外,万级模块化洁净室为了保持相应的洁净等级,还需要配备风淋室、货淋室、传递窗等,同时要对进入室内的作业人员进行培训,严格按照要求去进行生产。